PC-1 實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)說(shuō)明
 

　　● 自動(dòng)一鍵操作
 

　　● 高效清洗快速達(dá)成表面親水性
 

　　● 不損傷產(chǎn)品，不改變材料特性
 

　　● 設(shè)備靈巧適合各種使用環(huán)境
 

　　● 外形尺寸：450mm(W)*380mm(D)*230mm(H)
  

　　江蘇容道社半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司總部位于江蘇蘇州吳江汾湖高新區(qū)BGT園區(qū)內(nèi)，占地面積5000 平米；擁有專業(yè)的黃光生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)區(qū)以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝及測(cè)試車間；擁有一支能與時(shí)俱進(jìn)、緊跟行業(yè)技術(shù)發(fā)展并能不斷創(chuàng)新的技術(shù)與產(chǎn)品研發(fā)團(tuán)隊(duì)；容道社已形成自主可控的I線、G線、H線光刻機(jī)、勻膠機(jī)、顯影機(jī)、勻膠顯影一體機(jī)、金屬剝離去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、濕法清洗機(jī)等冷熱處理與客制化需求等設(shè)備產(chǎn)品系列與獨(dú)立模塊產(chǎn)品，可適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶要求；容道社自主產(chǎn)品已通過(guò)客戶現(xiàn)場(chǎng)驗(yàn)證實(shí)現(xiàn)晶圓上料、工藝傳送、勻膠、光刻、顯影、金屬剝離去膠、刻蝕，清洗等一系列生產(chǎn)工藝鏈條流程化實(shí)現(xiàn)缺陷聯(lián)防達(dá)到工廠自動(dòng)化、信息化、智能化。

PC-1 等實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)參數(shù)
腔體材質(zhì)	鋁合金
射頻電源	0-500W可調(diào)
射頻頻率	25KHz
真空度	≤100Pa
氣體路	單路
氣體流量	0.1-1L/Min
清洗時(shí)間	0-999秒可調(diào)
內(nèi)腔尺寸	Φ147mm*145mm（可定制更大尺寸）
真空泵	飛越-4
電源輸入	AC220V