產品介紹：等離子體表面改性處理儀（P-5）

P-5等離子體表面改性處理儀是一款經濟型的臺式，該款臺式提供了許多功能，而這些功能是其它競爭設備上無法找到的。PE-5臺式是專門為小型生產企業，研發實驗室，檢測中心，大學研制開發的。是一款用于等離子體滅菌和表面改性的理想臺式。

縱覽

該專門用于小規模的生產企業，研發機構和大學。 該采用了防暴式矩形焊接鋁合金材質真空艙，艙體尺寸為15厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高；并設置直接供電的射頻（RF）電極。

的應用包括醫療設備，太陽能電池，印刷電路板，連接器，微機電系統（MEMS），納米技術，晶圓級封裝，接觸眼鏡以及其他許多相關的半導體工藝。

特點 

正如所有，P-5采用電容耦合（CCP）平行電極板設計，從而zui有效的產生等離子體。

與傳統玻璃/石英圓筒艙不同的是，這些競爭設備不能穿透真空艙，因此被限制只能使用感應耦合的RF線圈纏在腔室的外部。 這是設置一種低效率方式，導致輸入功率損失及相當低的蝕刻/清潔去除速率。

P-5是由美國制造的部件組裝而成，我們提供的業內客戶服務和支持。

可用于在精確控制的條件下，對各種不同材料的表面進行改性；從而避免了采用濕法清洗和蝕刻相關的安全危害和液體廢料排放的問題。如果有效的表面處理效率對一個工藝很關鍵，或對于一個產品的可靠性至關重要的話，等離子技術可以提供解決方案。

P-5被用于去除有機和無機污染物，提高潤濕性，提高粘結強度，并除去殘留物。 該工藝可用于各種產品中使用的材料，并認為是一種是有效的方式。

規格

標準配置

鋁合金真空艙：5厘米 寬 x 15厘米深 x 10厘米高
電極設置：單套 12.7 X 12.7厘米水平電極
射頻電源：125瓦@50kHz射頻電源
工藝氣體控制：精密針形閥流量控制0-25 CC /分鐘
真空監測系統：皮拉尼真空計0-1托
真空系統：5CFM氧氣真空泵 （可與氧氣等活性氣體適配）
工藝存儲：單處理順序

可選配配置
射頻電源：100W@13.56MHz 射頻（RF）電源和自動匹配器網絡
燈條
精密質量流量計
更大真空艙可選配
更大平行電極可選配

機電信息
電源： 220VAC，50Hz@ 14A
系統主機毛重：25公斤
真空泵毛重：15公斤
系統主機尺寸：36厘米 X 36厘米 X 46厘米
真空泵浦尺寸：18厘米×41厘米