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產品簡介
XL-80激光干涉儀詳細信息
系統(tǒng)規(guī)格
線性量測距離 80 m
線性量測精度 ± 0.5 ppm
激光頻率精度 ± 0.05 ppm
分辨率 0.001 μm
zui高移動速度 4.0 m/sec
動態(tài)采集速率 10 Hz ~ 50 kHz
預熱時間 < 6 minutes
精度范圍 0°C ~ 40°C
儲存溫度范圍 -25°C ~ 70°C
尺寸 214 （L） × 120 （W） × 70 （H） mm
重量 1.85 kg
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移動站：XL-80激光干涉儀
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