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產品簡介
使用切片方式制備像紙張、纖維等軟材料截面樣品,容易使樣品變形錯位;機械拋光處理的樣品表面經常也會留下劃痕、污染和表面應力,對樣品的形貌觀察和結構分析帶來不利影響。日立新推出的IM4000離子研磨儀既可以對樣品進行氬離子截面切割,可以進行氬離子平面研磨,是截面樣品制備和平面樣品無應力拋光的理想工具。IM4000日立高新離子研磨裝置
日立高新離子研磨裝置IM4000具有斷面加工和平面研磨功能的混合儀器!
日立高新離子研磨裝置IM4000的混合模式帶有兩種研磨配置:
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面以下結構高分辨成像。
平面研磨:將樣品表面均勻研磨5平方毫米,從不同角度有選擇地研磨,以便突出樣品的表面特性。
日立高新離子研磨裝置IM4000的高通量能提高加工效率:
與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間。(zui大加工率:硅元素為300微米/小時 — 加工時間減少了66%。
日立高新離子研磨裝置IM4000的可拆卸樣品臺裝置:為便于樣品設置和定義研磨邊緣,可將樣品臺裝置拆卸。
特點 IM4000日立高新離子研磨裝置
混合模式:兩種研磨配置
斷面加工:將樣品斷面研磨光滑,便于表面高分辨觀察
平面研磨:不同角度有選擇地,大面積,均勻地研磨5 mm的平面,以突顯樣品的表面特性
高效:提高加工效率
與之前的E-3500型相比,采用新型離子槍設計,減少了橫截面研磨時間
(zui大加工速度:硅材質為300 μm/h - 加工時間減少了66%)
可拆卸式樣品臺:
為便于樣品設置和邊緣研磨,樣品臺設計為可拆卸型
| 項目 | 內容 | |
| 平面研磨 | 截面研磨 | |
| 使用氣體 | 氬氣 | |
| 加速電壓 | 0 ~ 6 kV | |
| zui大加工速率(材料Si) | 約20 m/h*1 約2 m/h*2 | 約300 m/h*3 |
| zui大樣品尺寸 | φ50×25(H)mm | 20(W)×12(D)×7(H)mm |
| 樣品移動范圍 | X : 0 ~ +5 mm | X :±7 mm、Y : 0 ~ +3 mm |
| 旋轉速度 | 1 r/min、 25 r/min | - |
| 擺動角度 | ±60°、±90° | ±15°、±30°、±40° |
| 傾斜角度 | 0~90° | - |
| 氬氣(Ar)流量控制方式 | 質量流量計(Mass Flow Controller) | |
| 真空系統 | 渦輪分子泵(33 L/s)+機械泵(135 L/min(50 Hz)、162 L/min(60 Hz)) | |
| 裝置尺寸 | 616(W)×705(D)×312(H)mm | |
| 重量 | 主機48 kg+機械泵28 kg | |
| 選配 | ||
| 加工觀測用顯微鏡 | 倍率 :15× ~ 100× 雙目型、三目型(可加裝CCD) | |
| 真空轉移盒單元 | 旋蓋式(O形圈密封)密閉樣品,樣品倉內打開旋蓋 | |
| 冷卻系統*4 | 使用液氮間接冷卻樣品 ;冷卻Mask溫度 :-30℃以下*5 ;配有恢復到室溫的控制器 | |
*1 :照射角 0° 偏心量 0 mm *2 :照射角 60° 偏心量 4 mm *3 :Si片突出遮擋板(Mask)邊緣100 m加工時的zui大深度 *4 :不能后裝,需出廠時配置 *5 :加入液氮30分鐘后遮擋板(Mask)的溫度
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日立是一家全球性的日立公司,通過互聯材料分析解決方案幫助我們的客戶變得更加成功和可持續,這些解決方案使生產和開發過程更加高效、自動化和綠色,以確保產品質量、安全性和合規性。我們提供實驗室級和強大高性能現場檢測設備如光電直讀光譜儀、X射線熒光光譜(XRF)、X熒光測厚儀(鍍層測厚儀)、激光誘導擊穿光譜儀(LIBS)、熱分析儀、鋰電池異物分析儀、油品分析儀、土壤分析儀等。
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