激光干涉儀

激光干涉儀，關鍵字是激光和干涉。
干涉（interference）是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時發生疊加從而形成新的波形的現象。對光源有一定的要求，而激光的三個特性能夠較好的發生干涉。
所以就出現了用激光干涉實現某種應用的儀器。
一般性應用都是測面型，距離，速度等。
因為兩束滿足特定要求的激光能夠產生干涉條紋，而兩束光的相差導致干涉條紋的能量分布發生變化。通過采集干涉條紋的能量，反計算相差從而計算出被測物的局部面型變化，或者位置變化。
具體分類可分單頻和雙頻。常見的光路基本結構有傅里葉，法波等，基本上就是雙光束干涉或者多光束干涉原理。

技術參數：
5D/6D標準型： 
1. 線性：0.5ppm 
2. 測量范圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：800角秒 
5. 滾動角精度：1.0角秒 
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：400角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. zui大范圍：500角秒 
5. 滾動角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. zui大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg

主要特點：
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動角 
2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。 
5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間

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