NG-A-PCI高分辨率納米編碼器在X和Y方向上以10um作為基礎周期，整個計量系統則以5um的作為測量周期。NG用三相90-element的探測器從柵格中捕捉*階的激光通過衍射方式反射過來的信號。這三個信號為極小的移動提供一個非常明確的測量相位。NG-A-PCI高分辨率納米編碼器是用于測量二維超精密的平面位移的測量系統。NG是一個XY網格編碼器系統，湍流效應是激光干涉儀經常會遇到的，該系統也可以避免與相單獨線性尺度關聯的阿貝誤差。NG在制造柵格的過程中，能夠保證其達到激光干涉儀的精度，并且以一個更經濟的價格、更實用和更堅固的制造工藝來封裝它。

產品的特點：

• 亞納米的分辨率；

• 重復性小于5nm；

• 低阿貝誤差；

• 對湍流效應及大氣壓強變化不敏感；

• 占地面積小，重量輕；

• 可選真空版本；

• 易于安裝，包括柵格安裝的應力消除；

• 柵格和探頭的間隙為12mm；

• 對準誤差低；

• *的技術支持；可定制；

• 高速運作。