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產品簡介
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 電子/電池 |


| 技術參數: | |||
| 機臺尺寸 | 79cm*9cm*22cm | 步進軸(Y) | 定位裝置:低電磁干擾導軌式步進馬達 |
| 掃描軸(X) | 定位裝置: 線性伺服馬達 | 分辨率:0.25um | |
| 大速度:1000mm/sec | 大掃描區域:350mm | ||
| 重復精度:+/-0.5um | 聚焦軸(Z) | 定位裝置:低電磁干擾導軌式步進馬達 | |
| 編碼器分辨率:0.5um | 分辨率:0.25um | ||
| 大掃描區域:350mm | 大行程:50mm | ||
| 夾具 | JEDEC標準尺寸托盤夾具 | 脈沖發生器 | DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發生器 |
| 掃描平臺可固定*的托盤夾具 | 可選U4超高頻脈沖發生器 | ||
| 透射桿探頭固定 | 流體系統 | 循環泵和5um過濾器 | |
| 注:ECHO LS是目前國內使用廣泛的一款型號 | |||









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