ST5000 自動(dòng)型防震臺(含PC)膜厚測量儀規(guī)格
波長范圍 400~800nm
測量范圍 100?~ 35?(Depends on Film Type)
透鏡大小 M5x,M10x,M20x
測量光斑尺寸 40?,20?,10?
測量層數(shù) 3
樣品臺尺寸 300mmX300mm
X,Y軸重現(xiàn)性,±2.5?
Z軸重現(xiàn)性 ±2?
ST5000 自動(dòng)型防震臺(含PC)膜厚測量儀可選部分
SRM(標(biāo)準(zhǔn)參考樣片)
光學(xué)透鏡 M50X(光斑尺寸:4?)
樣品臺可擴(kuò)至370mmX470mm
產(chǎn)品特征
快速測量&操作簡便
非接觸&非破壞性
良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
測量可達(dá)3層&測量精度良好
自動(dòng)平臺控制&自動(dòng)聚焦功能
具有2D/3D繪制圖與曲面輪廓
需加防震臺
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe...
介質(zhì)材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2
Polymer:PVA,PET,PP,PR...
LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物,ITO,屏間隙,光刻膠與酰亞胺薄膜,石英
Optical Coating:Hardness涂層,增透膜,Filters,Packing & Functional Film
Recordable 材料:光感導(dǎo)鼓,攝像頭,光盤...
其他:示波管上的光阻薄膜材料與掩膜板,薄金屬膜,激光鏡,ALQ3...
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