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產品簡介
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 醫療衛生,生物產業 |
MProbe系列薄膜測厚儀是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術。
測量范圍: 1 nm - 1 mm
波長范圍: 200 nm -8000 nm
光斑尺寸:2mum -3 um
產品特點:
a. 測量精度:0.01nm或0.01%
b. 準確度:1nm或0.2%
c. 穩定性:0.02nm或0.02%
d. *的軟件材料庫,包含500多種材料的光學常數
e. 通過Modbus TCP或OPC協議,與其他設備聯用
適用于實時在線測量,多層測量,非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等
MProbe系列薄膜測厚儀
標準配置中包含:
1. 主機(光譜儀,光源,電線)
2. 反射光纖
3. 樣品臺及光纖適配器
4. TFCompanion軟件
5. 校準套裝
6. 測試樣品,200nm晶圓
廣泛的應用于各種工業生產及工藝監控中:
半導體晶圓,薄膜太陽能電池,液晶平板,觸摸屛,光學鍍膜,聚合物薄膜等
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移動站:MProbe系列薄膜測厚儀
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