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產品簡介
| 應用領域 | 電子/電池,航空航天,電氣 |
EVG®7200 自動化SmartNIL®UV納米壓印光刻系統
具有EVG專有的SmartNIL®技術的自動全場UV納米壓印解決方案(大200毫米)
技術數據
EVG7200系統利用EVG的創新SmartNIL技術和EVG的材料專長來實現微米級和納米級結構的批量生產。該系統將SmartNIL的高級軟印和壓印功能帶到了更大的基板和更小的幾何形狀上,批量生產時的分辨率低至40 nm *。這帶來了更大的擁有成本(CoO)收益,并實現了納米壓印光刻技術的全部制造潛力。
*分辨率取決于過程和模板
特征
體積驗證的壓印技術,具有出色的復制保真度
專有的SmartNIL®技術和多次使用的聚合物印模技術
集成式壓印,UV固化,脫模和工作印模制作
盒帶到盒帶自動處理以及半自動R&D模式
可選的頂部對齊
可選的迷你環境
適用于所有市售壓印材料的開放平臺
從研發到生產的可擴展性
系統外殼,可實現佳過程穩定性和可靠性
技術數據
晶圓直徑(基板尺寸)75至200毫米;
解析度≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:SmartNIL®
曝光源:大功率LED(i線)> 400 mW /cm²
對準:可選的頂部對齊
自動分離:支持的
迷你環境和氣候控制:可選的
工作印章制作:支持的
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