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孚光精儀是中國規模型進口光學精密儀器供應商,是全球光電子儀器和基于光子技術精密儀器的規模性進口商和代理商，主營飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡等
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高速光致發光光譜成像儀詳細信息
高速光致發光光譜成像儀是為LED光致發光成像繪圖設計的工藝級光致發光mapping繪圖系統，具有較高的光致發光mapping繪圖成像速度。
高速光致發光光譜成像儀對應2英寸晶圓按2mm/步掃描,30秒即可完成掃描mapping成像。用戶可以選擇多種光譜儀器控制功能,多個激光集成支持功能,光致發光的同時測量與分析，薄膜厚度測量，反射率測量,雙PL峰偏析,接收器編輯,邊緣剔除.用戶控制步進分辨率0.1/0.5/1.0/2.0/4.0mm。
高速光致發光掃描光譜成像儀采用安靜的電動位移臺,高靈敏度低噪音CCD探測器,自動監測激光功率,完成操作記錄功能,還可以采用FFT濾波去除差錯，為用戶帶來的操作體驗。
高速光致發光光譜成像儀應用
LED制造質量檢測
LD制造質量控制
Epi-晶圓自動PL光致發光掃描繪圖成像Mapping
III-V材料光致發光分析
薄膜厚度測量
熒光測量分析
通用光致發光分析
高速光致發光光譜成像儀規格參數
光譜儀：200-1100nm,低噪音1024像素（可選2048像素）
分辨率：3.5nm@100um狹縫 600gr/mm,1024像素
可選配光譜儀：900-1700nm, 2nm@10um狹縫150gr/mm
激光器：標配375nm,可選波長266nm,325nm,405nm,442nm,532nm,658nm,785nm,1064nm
可選配：薄膜厚度測量功能
高速伺服電動位移臺：手動加載樣品盤，XY二軸位移，步進分辨率0.5/1.0/1.5/2.0mm
支持晶圓尺寸：2’‘，4’‘，6’‘，可選配8’‘
掃描mapping速度：2''晶圓<30秒@2mm步進，5ms曝光。
軟件分析參數：峰值波長,優勢波長,峰值強度,FWHM,積分強度，可選配厚度和反射率測量功能
光致發光精度：<1nm +/-0.5nm
尺寸：760W x 450H x 560D
重量：<35kg
真空：50-60cm/Hg
電源要求：220V
潔凈度要求：~10000級
工作溫度：15~35攝氏度
濕度：<85%R.H非冷凝
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編號：91310115MA1K3L3E4N
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移動站：高速光致發光光譜成像儀
內容聲明：
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