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產(chǎn)品簡介
| 應用領域 | 化工,石油,電子/電池,鋼鐵/金屬,制藥/生物制藥 |
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產(chǎn)線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內(nèi)表面吸附并 和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質(zhì)是產(chǎn)生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。
日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
規(guī)格
| 型號 | 表壓※ | 絕對壓 | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| PSI | 25G | 50G | 100G | 200G | 500G | 3000G | 15A | 25A | 50A | |
| 壓力范圍 | KPa | 0～172.4 | 0～344.7 | 0～689.5 | 0～1,378.9 | 0～3,447.3 | 0～20,684 | 0～103.4 | 0～172.4 | 0～344.7 |
| kgf/cm2 | 0～1.76 | 0～3.52 | 0～7.03 | 0～14.06 | 0～35.16 | 0～210.9 | - | - | - | |
| torr | - | - | - | - | - | - | 0～776 | 0～1,293 | 0～2,586 | |
| 精度（％ 全量程) | ±0.5％ | ±0.25％ | ±0.5％ | |||||||
※所有的表壓類型可以連成。
| 過載壓力 | 全量程×2 |
|---|---|
| 激勵電源電壓 | DC 5V(MAX 6V) |
| 保存溫度范圍 | -20℃～93℃（未通電） |
| 溫度補償范圍 | -1℃～71℃ |
| 溫度漂移 | ±0.05% FS/℃ |
| 信號輸出 | 100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V) |
| 跨度 | 100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV |
| 偏移量 | 0mV ± 10mV |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec |
| 氣體（液體）接觸部分 | 哈司特鎳合金® |
| 連接零件 | 1/4" Gasket seal、 Compression seal、其它 |
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您訪問的腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器產(chǎn)品信息，由秋山科技（東莞）有限公司自行發(fā)布提供，產(chǎn)品價格為面議，如您想了解更多關于腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器型號、參數(shù)、用途等信息，歡迎咨詢。
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