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內容聲明：
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產品簡介
實驗室246英寸硅片PFA清洗花籃PFA鐵氟龍產品參數
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業 |
實驗室246英寸硅片PFA清洗花籃PFA鐵氟龍詳細信息
PFA花籃 / 清洗花藍 / 鐵氟龍卡匣 / 鐵氟龍晶舟盒 / 鐵氟龍晶圓盒 為 為承載半導體晶圓片/硅片的容器，可依照客戶需求設計，全氟烷氧基材質有優良的化學穩定性，耐高溫200~220℃、耐酸耐堿耐腐蝕(強酸、強氟酸、強堿)，主要用于半導體蝕刻部門之酸堿制程中使用、傳送晶圓。
進入化學酸、堿蝕刻制程中，鐵氟龍卡匣需要靠手把夾持，可搭配鐵氟龍手把使用
材質 | 耐溫度 | 特性 | Cassette 應用 |
PFA Cassette | 200~220℃ | 耐 強酸 強氟酸 強堿 | 酸堿制程中使用 |
PP Cassette | 40~60℃ | 重量輕， | 一般傳輸制程 |
PEEK Cassette | 120℃ | 硬度高、耐磨， | |
PC Cassette | 80~100℃ | 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易應力變形。 | |
PEI Cassette | 130~150℃ | 耐磨、抗靜電性。 |
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