日本HONDA本多進(jìn)口石英超聲波清洗機(jī)晶圓 

W-357-1MQG-SKC

過根據(jù)目的準(zhǔn)備石英振動體的形狀，可以滿足低損傷清洗、大面積清洗、斜面部分（端面）和缺口（晶片端面切口）清洗等需求。 ). 它可以實現(xiàn)有效的清潔。

特點功能：

晶片的小型化、損傷低
的清洗 

■ 通過在石英振動體上疊加超聲波來清洗
半導(dǎo)體晶片 通過化學(xué)溶液從石英振動體向半導(dǎo)體晶片傳播超聲波振動，接觸部分的化學(xué)溶液振動并它的加速會清除表面的污垢。
■ 實現(xiàn)對半導(dǎo)體晶片的損傷少的清潔清洗 與
化學(xué)品接觸的部分使用石英，與使用橡膠材料的設(shè)備（如填料）相比，沒有橡膠溶出或磨損，可以進(jìn)行清潔清洗。
■ 由于具有振蕩器冷卻功能，通過氣體（氮氣等）冷卻振蕩器，可以穩(wěn)定地連續(xù)運行而不會發(fā)生頻率波動。
此外，通過冷卻，溫度不會突然變化，使用壽命長。

用途：

去除抗蝕劑殘留物
磨邊和灰化后去除聚合物
柵電極清洗
CMP 后清洗

日本HONDA本多進(jìn)口石英超聲波清洗機(jī)晶圓  規(guī)格參數(shù)：

產(chǎn)品圖片