日立高新超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SU9000

日本日立HITACHI超高分辨場發射掃描電子顯微鏡Regulus系列 的詳細介紹

　　沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍*2

　　采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的佳性能

　　與現有機型相比分辨率提高了20％左右

　　(Regulus8240/8230/8220: 0.9 nm/1 kV、Regulus8100: 1.1 nm/1 kV)

　　采用污染小、高真空樣品倉

　　運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

　　極低著陸電壓下高分辨觀察日立高新超高分辨率場發射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩定觀察的半導體器件，高分辨成像所設計。