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產品簡介
| 應用領域 | 環保,化工,能源,電子/電池 |
科氏液體質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器
科氏液體質量流量控制器5911D4主要技術指標
| 1 | 量程范圍 | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500 )SCCM (0~1,2,3,5,10,50,100,200,500 3000) SLM |
| 2 | 準確度 | ±1%F.S ±0.5%F.S |
| 3 | 線性 | ±0.5~1.5%F.S |
| 4 | 重復精度 | ±0.2%F.S |
| 5 | 響應時間 | 電特性:10sec 氣特性:(1~4)sec |
| 6 | 工作壓差 | 0.1~0.5MPa |
| 7 | 耐壓 | 3MPa |
| 8 | 工作環境溫度 | 0~70℃ |
| 9 | 數字量 | RS485 MODBUS協議 |
| 10 | 模擬量 | DC 0~5V ,4~20mA 可選 |
| 11 | 供電 | DC +15V/24V 可選,流量計<400mA,控制器<600mA |
| 12 | 電氣連接 | DB15 |
| 13 | 漏率 | 1×10\u001F-8SCCSH |
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GRYLLS(音譯:格里爾斯)團隊始建于2004年,是一家專業從事精確科學流體測控設備設計、制造、和方案的解決供應商。GRYLLS產品流量、壓力、溫度適用范圍寬廣,可選擇性強。目前已經廣泛應用于工業氣體、石油、化工、醫療、電子及微電子、半導體、太陽能光伏、生物醫藥、標準檢測、燃料電池、食品飲料、體外診斷、工業生產等等方面。
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