Logitech PM6型精密拋光機，具體功能特點如下：

晶圓研磨機控制系統(tǒng)

PM6系統(tǒng)通過創(chuàng)新的設計和直觀的操作控制，突出了對工藝過程的可控拋光的所有功能和操作均通過觸摸屏電腦操作界面進行，一個完整的菜單設置和工藝選項清晰顯示屏幕上，使得工藝存儲及調(diào)用操作更為便捷。

PM6系統(tǒng)提供拋光盤的速度，定時，以及擺幅等功能均可以通過操作界面設置和控制，機器運行中計時器開始工作，在無人看管時可以設定計時器，在處理材料完成時機器會被停止，控制系統(tǒng)會在向操作員發(fā)出提醒。

PM6系統(tǒng)設有輔助驅(qū)動夾具擺臂，加快研磨拋光速率，提高精度和工藝重復性。

直觀的操作控制系統(tǒng)

快速、高效的研磨/拋光盤，便于拆卸，方便用戶在不同的研磨和拋光過程之間的快速轉(zhuǎn)換。這種靈活性使PM6系統(tǒng)成為實驗室空間有限的情況下的選擇。

晶圓研磨機主機整體防腐蝕設計，系統(tǒng)可以在腐蝕性環(huán)境下工作。