一、產品概述：

精密離子減薄儀是一種高精度的樣品制備設備，專門用于通過離子轟擊去除材料表面層，以實現樣品的薄化和表面優化。該儀器廣泛應用于材料科學、電子顯微鏡樣品制備和半導體行業。

二、設備用途/原理：

·設備用途

精密離子減薄儀主要用于制備電子顯微鏡樣品，幫助研究人員獲得高質量的超薄樣品，以便進行微觀結構分析和材料特性研究。它也適用于去除表面缺陷和改善材料的表面質量，以滿足高的應用需求。

·工作原理

精密離子減薄儀通過生成高能離子束并將其聚焦到樣品表面，利用離子轟擊去除表面材料。儀器可以精確控制離子束的能量、轟擊角度和處理時間，以實現均勻的減薄效果。通過調節這些參數，用戶能夠獲得所需的樣品厚度和表面特性，確保樣品在后續電子顯微鏡觀察中的高分辨率和準確性。

三、主要技術指標：

1. 兩支獨立可調電磁聚焦離子槍

2. 同時具備高能量(快速拋光)和低能量(精細修復)

3. 超寬加速電壓范圍：100eV 到 10kV，不同加速電壓下，離子束束斑均保持細優束斑狀態

4. 每支離子槍均配備對應法拉第杯進行離子束直接探測

5. 采用可調節10英寸觸屏控制系統，人機界面友好，操作簡潔

6. 自動獨立氣源控制

7. 減薄角度范圍：-15°~+10°連續可調

8. 樣品載臺X-Y可調，可根據需要調整樣品減薄位置

9. 具備原位實時觀察及記錄減薄過程功能

10 .樣品可360°連續旋轉或搖擺，離子束自動避讓樣品夾

11. 可通過時間、溫度以及透光性自動停止

12. 可選液氮冷臺配置，去除熱效應對樣品的損傷

13. 可選真空或惰性氣體轉移裝置，隔絕樣品與水氧接觸