Helios 5 Hydra DualBeam 顯微鏡具有多個離子種類、適用于 3D EM 和 TEM 樣品制備的等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡檢查

Thermo Scientific Helios 5 Hydra DualBeam（等離子聚焦離子束掃描電子顯微鏡，簡稱 PFIB-SEM）可以提供四種不同的離子種類作為主離子束，讓您可以選擇能為樣品和用例（如掃描透射電子顯微鏡 [STEM] 和透射電子顯微鏡 [TEM] 樣品制備和 3D 材料表征）提供最佳結果的離子。

您可以在不到十分鐘的時間里輕松地在氬、氮、氧和氙之間切換而不會犧牲性能。 這種的靈活性極大地擴展了 PFIB 的潛在應用領域，并可實現通過研究離子-樣品相互作用來優化現有用例。

Helios 5 Hydra DualBeam 將創新的新型多離子種類等離子 FIB (PFIB) 柱與單色 Thermo Scientific Elstar UC+ SEM 色譜柱相結合，提供先進的聚焦離子和電子束性能。直觀的軟件和的自動化水平和易用性可以觀察和分析相關的亞表面體積信息。

Helios 5 Hydra DualBeam 顯微鏡主要特點

應用空間廣泛

離子源可提供以下四種快速、可切換離子種類，應用空間最為廣泛：Xe、Ar、O、N

先進的自動化

使用選配的 AutoTEM 5 軟件，以最快速輕松的方式實現自動化多點原位和非原位 TEM 樣品制備以及交叉切片

納米級實現周期短

借助 SmartAlign 和 FLASH 技術，任何經驗水平的用戶都可以最短時間獲得納米級信息

電子和離子束誘導沉積和蝕刻

通過選配的 Thermo Scientific MultiChem 或 GIS 氣輸送系統，在 DualBeam 系統上實現的電子和離子束誘導沉積和蝕刻功能。

無偽影成像

基于集成的樣品清潔度管理和專用成像模式，例如 SmartScan 和 DCFI 模式

高通量和高質量

使用下一代 2.5 μA 等離子 FIB 色譜柱進行高通量、高質量和統計學相關的 3D 表征、交叉切片和微加工。

高質量樣品制備

由于采用新型 PFIB 色譜柱，可實現 500 V 最終拋光以及在所有操作條件下均可提供出色的性能，可以用氙、氬或氧進行高質量無鎵 TEM 和 APT 樣品制備。

完整的樣品信息

可通過多達六個集成在色譜柱內和透鏡下的集成探頭獲得清晰、精確且無電荷對比度的最完整的樣品信息

精確的樣品導航

借助 150 mm 壓電載物臺的高穩定性和準確性或 110 mm 載物臺的靈活性以及選配的腔室內 Thermo Scientific Nav-Cam 攝像機，可根據具體應用需求進行定制。