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產品簡介

| PLUTO-MD小型等離子去膠機參數 | |
| 真空腔 | 不銹鋼腔體,ф210mm*230mm |
| 電極 | 兩個自適應平板電極,材質: 6061-T6鋁合金 |
| 電極尺寸 | 125*125mm,間距20-75mm可調 |
| 等離子體發生器 | RF射頻發生器,頻率: 13.56MHz; 自適應阻抗匹配電源 |
| 功率 | 0-200W連續可調,精度1W |
| 氣體控制 | 2路,針式氣體流量閥, 0-300ml |
| 工藝氣體要求 | 1/4英寸卡套接口/15~30 psig |
| 工藝氣體種類 | CF4=99.97%; 02=99.996%; N2=99.99%;Ar=99.999%;其余氣體請咨詢! |
| 控制方式 | 4.3寸工業控制觸摸屏;控制軟件功能:界面顯示實時工作狀態 |
| 保護裝置 | 一鍵急停保護按鈕 |
| 外部尺寸 | 404*640*615mm |

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