美國PIE等離子清洗儀

美國PIE Scientific LLC公司出品的SEMI-KLEEN 等離子清洗儀, 采用低壓清洗技術，可清洗各種類型電子或者離子顯微鏡，深紫外光刻機，電子光刻系統等真空儀器。

本儀器由一個LCD觸摸屏控制器和一個遠程射頻（RF）等離子源組成，遠程等離子源通過一個KF40真空法蘭連接到待清洗真空室，有轉接法蘭提供。主要用于清洗各種掃描電鏡(SEM)，透射電鏡(TEM)，聚焦離子系統(FIB)，離子顯微鏡(HIM)等真空系統中碳氫及其他污染。同時清洗真空腔體和樣品。(PIE中國代理南京覃思科技有限公司)

一. 美國PIE等離子清洗儀te有功能

1. *的等離子技術，可以在小于0.1毫托的氣壓下點火并且保持穩定的等離子體。非常低工作氣壓比其他同類產品低10到100倍。低氣壓清洗速度非常快，非常均勻，對電子槍和分子泵非常安全；
2. 即時等離子起輝技術。不用像在其他同類產品上那樣擔心等離子是不是成功起輝；
3. 帶氣壓計的自動氣體流量控制；
4. 實時測量等離子強度，用戶可以根據這個實時反饋來優化清洗配方；
5. 自動射頻匹配實時保證非常優化射頻耦合，即使用戶調節清洗配方；
6. 專有保護的雙層顆粒過濾器設計保證我們的產品滿足Intel，臺積電，三星等半導體用戶的嚴格顆粒污染要求；
7. 帶LCD觸摸屏的直觀操作界面；
8. 微電腦控制器帶可修改的智能清洗計劃，設好就自動清洗您的系統；
9. 支持清洗配方，一鍵開始，自動射頻匹配，自動控制氣體流量；
10. 微電腦控制器可記錄所有信息狀態，便于系統維護。

二. 技術指標

1. 等離子源真空接口：NW/KF40 法蘭; 提供轉接法蘭；
2. 標配等離子強度傳感器；
3. 等離子源非常低點火起輝氣壓：<0.1毫托；
4. 等離子源非常高工作氣壓：>1.0 托；
5. 漏氣率：<0.005sccm；
6. 射頻輸出：0~100瓦，連續可調節；
7. 具有射頻自動匹配功能

8. 電源和功率：110V/220V, 50/60 Hz, 200 瓦