澤攸科技臺階儀JS2000C/3000C

產品介紹

澤攸科技全自動臺階儀JS2000C/3000C是一款高精度、高分辨率的測量設備，采用一體花崗巖結構，確保測量的穩定性與可靠性。配備雙彩色攝像頭，可清晰無畸變地觀察樣品和針尖，實現精準定位與實時監控。適用于薄膜厚度、多晶硅粗糙度、翹曲度、應力及3D掃描成像等測量任務，并支持計劃任務和多點掃描批量測試，廣泛應用于半導體、材料科學等領域。其核心技術包括精密成像、自動控制和數據分析處理。

• 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量

• 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數測量

• 各式薄膜等應力測量

• 3D掃描成像

• 計劃任務和多點掃描

• 批量測試晶圓，批量處理數據等

應用領域

產品組成

突破三大核心技術

產品特色

技術指標

臺階高度最大范圍：160um

臺階高度重復性：≤0.5nm

垂直分辨率：0.05nm

探針加力范圍：0.5mg~50mg

單次掃描長度：≤55mm

晶圓尺寸：可兼容6寸、8寸Wafer

晶圓厚度：≤50mm

圖像識別系統精度:定位精度優于±10um

機械動作穩定性:馬拉松傳送測試>500片

生產效率:WPH≥10片(單面量測≥5個位置)

案例應用

18nm樣品

68um樣品