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MICROSTONE微石是利用測量人的運動和機械振動的運動傳感器技術的產品的開發、制造、銷售制造商。從測量機械振動、檢測異常的傳感器和軟件開發開始，到測量人的動作、預防跌倒風險的系統，進行了多方面的研究。
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3軸加速度在線振動傳感器詳細信息
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度在線振動傳感器
3軸加速度傳感器引線型
半導體晶片生產中使用的多關節機器人的振動監視開發·面向品質管理的事例介紹
生產半導體晶片時，必須使用多關節機器人進行生產。
在這種情況下，機器人搬運時給產品帶來的異常沖擊會導致產品質量劣化，因此是一個很大的課題。
因此，本公司產品的“3軸加速度傳感器MA3系列”可以檢測到發生了異常的沖擊，因此有組裝到機器人中使用的例子。
“3軸加速度傳感器MA3系列”通過模擬電壓的變化輸出X、Y、Z方向的加速度。輸出可導入PLC，設置閾值進行判定。
根據判定結果通知異常，根據情況也可以停止設備。
“3軸加速度傳感器MA3系列”有通用型和高頻型兩種，可以根據產生的加速度的頻帶選擇。
另外，根據發生的加速度的大小，也可以選擇測量范圍。
設備狀態監測的最佳一臺建議！
支持高G、高頻的3軸加速度傳感器
不需要內置放大器工程，連接也很簡單。
國內生產、高品質、公司內部校正品質支持體制完備。
沖壓機發生異常時自動停止，防止模具破損和成品率下降
拾音器的對應幅度很豐富。沖壓機的高G高頻的沖擊也能測量。
不僅是加工裝置的異常發生，還進行原因的確定，提高成品率、生產效率
通過對加速度的測量數據進行頻率分析等，確定發生異常預兆的部件。
將切削加工裝置與其他公司制造的PLC（序列發生器）連接，也可以進行導入成本低的異常監視
因為是內置放大器，所以只需直接連接已經導入的PLC就可以測量。
| 型式 | 検出範囲 | |
|---|---|---|
| 5VDC入力時 | 3VDC入力時 ※1 | |
| MA3-04AD | ±40m/s2 (±4G) | ±20m/s2 (±2G) |
| MA3-10AD | ±100m/s2 (±10G) | ±50m/s2 (±5G) |
| MA3-20AD | ±200m/s2 (±20G) | ±100m/s2 (±10G) |
| MA3-50AD | ±500m/s2 (±50G) | ±250m/s2 (±25G) |
| MA3-100AD | ±1000m/s2 (±100G) | ±500m/s2 (±50G) |
| MA3-1000AD | ±10000m/s2 (±1000G) | ±10000m/s2 (±1000G) |
※1 弊社モーションレコーダーシリーズに接続した場合、こちらの検出範囲になります。
| 型式 | 検出感度 |
|---|---|
| MA3-04AD | 50mV/m/s2 ±10% (500mV/G ±10%) |
| MA3-10AD | 20mV/m/s2 ±10% (200mV/G ±10%) |
| MA3-20AD | 10mV/m/s2 ±10% (100mV/G ±10%) |
| MA3-50AD | 4mV/m/s2 ±10% (40mV/G ±10%) |
| MA3-100AD | 2mV/m/s2 ±10% (20mV/G ±10%) |
| MA3-1000AD | 0.1mV/m/s2 ±10% (1.0mV/G ±10%) |
| 型式 | オフセット電圧 |
|---|---|
| MA3-04AD | Vcc/2 ±0.2V |
| MA3-10AD | Vcc/2 ±0.1V |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | |
| 型式 | 応答周波數 ※2 |
|---|---|
| MA3-04AD | 0.8～1000Hz |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | 0.8～2000Hz |
※2 ±3dBにて規定
| 型式 | 非直線性 |
|---|---|
| MA3-04AD | ±2%FS |
| MA3-10AD | |
| MA3-20AD | |
| MA3-50AD | |
| MA3-100AD | |
| MA3-1000AD | ±1.5%FS |
| 項目 | 仕様?定格 |
|---|---|
| 供給電圧(Vcc) | 3～5VDC |
| 消費電流 | 0.5mA未満 |
| 他軸感度 | ±10% |
| 動作溫度 | ?20～80℃ |
| 保存溫度 | ?30～90℃ |
| 最大印加電圧 | 7V |
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