德國osiris熱板：HOTPLATES

設計用于以下應用：

SOFTBAKE（預烘烤）、HARDBAKE、

HMD（六甲基二硅氮烷）可選：蒸汽灌注、真空干燥

特點：

1.單面烘烤模塊

2.不同的基材系統：最大 200/300 或 450mm

3.電子或氣動頂銷

4.具有不同頂部插入件的不銹鋼舉升銷

5.控制器單元：半自動或手動

6.真空通道用于基板固定

7.集成式排煙

8.可選的：

  - 氮氣吹掃（N2） - 提升銷用于邊緣處理

9.專為研發和小批量生產而設計

1.UNIXX HvT20

（直徑200mm）用于HMDS底漆和真空脫水烘烤的臺式加熱板工具。

（可臺式或獨立式）

2. UNIXX HeT20

（直徑200mm）帶電子驅動提升銷的臺式加熱板工具。

（或安裝在臺上

3.UNIXX HpT20

（直徑200mm）帶有氣動驅動提升銷的臺式加熱板工具。

（或臺式）