液冷制冷機

• PTHC系列低溫液冷機
  

• 雙級復疊制冷
  

• 7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便 、顯示直觀， 可顯示 、記錄 溫度曲線和測試數據
  

• 氟化液或硅油
  

• 管道材質：SUS304，采用全密閉式結構設計
  

• -80℃ ~ 200℃
  

• 出口溫度±0.5 ℃
  

• ± 0.1 ℃
  

• 設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度 、 出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
  

• 設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
  

• 0.01K
  

• MODBUS RTU協議、RS 485接口+以太網接口
  

• 外置測溫傳感器端口 、USB數據接口
  

• 試驗執行時， 可實時顯示圖形曲線， 顯示內容；溫度設定實際值，執 行程序周期，程序執行中具有跳文件，保持功能。
  

• 風冷
  

• 設備運行狀態實時顯示，故障信息自動診斷， 多項報警保護： 電源故 障 ，壓縮機過載 、循環泵熱過載 、制冷低壓報警 、 制冷高壓報警 、超 溫 、溫度模塊故障 、 電加熱防干燒設計等保護功能。