Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具提供了對載流子復合壽命進行校準分析的現有技術。遵從SEMI標準 PV-13。WCT-120 是放置在桌面上的硅片壽命測量系統，適用于器件研究和工業過程控制，價格實惠。WCT-120MX適用于測試230 mm的大硅片。

產品概述

WCT-120和WCT-120MX 儀器展示了我們的測量和分析技術，包括 sinton Instruments公司在 1994年開發的遵從 SEMI標準的準穩態光電導(QSSPC)壽命測量方法。

WCT-120儀器使用QSSPC和瞬態光電導衰減技術，可以測量10ns到10 ms+范圍的硅片壽命。QSSPC 技術適用于監測多晶硅片、摻雜擴散及低壽命樣品。瞬態光電導衰減技術適用于對高壽命樣品的工藝進行逐步監控。

Sinton WCT-120:硅片壽命測試工具也會給出隱含開路電壓(隨光照強度變化的)曲線，相當于在電池工藝的每個階段都能給出一條I-V曲線。

主要應用：

對制造工藝進行逐步監控和優化。

其他應用:

l 監測初始材料質量。

l 在硅片加工過程中檢測重金屬雜質污染。

l 評估表面鈍化和發射極摻雜擴散。

l 使用隱含I-V測試，估算加工過程引起的并聯電阻。

Sinton Instruments 的分析會給出每張硅片的校準的載流子注入水平，所以可以認為壽命數據在物理意義上是準確的。每次測試都會顯示和記錄用戶所關注的特定參數。