白光干涉儀是采用德國白光干涉技術的3D表面形貌儀和3D表面輪廓儀，測量精度可達亞納米。
3D白光干涉儀采用引導性界面的軟件，非常適合3D表面形貌測量,可用于大學，研究所，企業研發機構實驗室。
白光干涉儀特點
白光干涉技術
引導性界面方便使用
快速測量
節省成本
可靠
測量高度可達220mm
測量精度可達亞納米
高速測量
CNC功能
防碰撞安全機制
HD縫合功能支持大面積測量
高動態范圍

3D白光干涉儀是高精度3D表面測量儀器，測量精度可達亞納米，可快速給出可靠的3D表面形貌測量值。
3D白光干涉儀具有良*的分辨率，可測量大尺寸表面粗糙度，及時對于光滑表面，也能給出可靠的粗糙度數據。
3D白光干涉儀軟件具有高清圖像縫合功能，滿足高分辨率大面積表面形貌測量。

3D白光干涉儀技術規格
圖像采集像素：1440x1200像素 （可選2448x2048像素）
XY單次測量***多采集點：172.8萬點
***高采樣速度：140HZ @滿幅分辨率
HDR： 16bit
***多測量點：500萬
***大測量高度；220mm
***大樣品重量：10kg
可測樣品表面：反射率0.1-100%， 鍍膜，非鍍膜，反射表面和漫反射表面均可
豎直方向微調精度：250微米
XYZ位移臺：手動
XYZ行程范圍：X200 Y105 Z220mm
重量：55kg