化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷您訪問的日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備產品信息,由玉崎科學儀器(深圳)有限公司自行發布提供,產品價格為面議,如您想了解更多關于日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備型號、參數、用途等信息,歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責,為保障安全,建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量!
化工儀器網手機版
移動端訪問更便捷
化工儀器網小程序
更多流量 更易傳播
公眾號:chem17
隨時掌握行業動態
產品簡介
日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備
日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備
這是一款高度可靠的熱處理爐,擁有 30 多年的良好記錄。可用于200mm硅片的氧化、擴散、退火等熱處理。
這是一種臥式爐,用作氧化爐、擴散爐和退火爐。
可以在一臺設備上選擇不同的進程。
我們的目標是通過使用 3 層或 4 層配置來節省空間。
5 個區域加熱器均獨立控制,可實現溫度控制,具有出色的熱均勻性和穩定性。
配備內部控制系統,操作簡單可靠。
H83-125和H84-125標配船用升降機,可以輕松裝載到上層。
可以進行諸如熱解氧化、濕式氧化、干式氧化、使用三氯氧化磷(POCl 3 )和三溴化硼(BBr 3 )的磷擴散、硼擴散和退火等工藝。
硅片的熱氧化、擴散和退火
| 模型 | H83-50 | H83-125 | H84-125 |
| 過程 | 氧化、擴散、退火 | ||
| 晶圓直徑 | ~200mm(8英寸) | ||
| 級數 | 3 | 3 | 4 |
| 產品晶圓數量 | 50 | 125 | 125 |
| 加熱區 | 5 | ||
| 加熱器材質 | 鐵鉻鋁 | ||
| 常用溫度 | 600~1200℃ | ||
| 浸泡長度 | 370毫米 | 800毫米 | 800毫米 |
| 溫度均勻 | ±1.0℃ | ||
特別提示:商品詳情頁中(含主圖)以文字或者圖片形式標注的搶購價等價格可能是在特定活動時段下的價格,商品的具體價格以訂單結算頁價格為準或者是您與商家聯系后協商達成的實際成交價格為準;如您發現活動商品價格或活動信息有異常,建議購買前先咨詢商家。
留言咨詢
您訪問的日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備產品信息,由玉崎科學儀器(深圳)有限公司自行發布提供,產品價格為面議,如您想了解更多關于日本ULVAC愛發科半導體臥式熱處理設備型號、參數、用途等信息,歡迎咨詢。
該內容的真實性、準確性和合法性由發布會員負責,為保障安全,建議您在購買相關產品前務必確認供應商資質以及產品質量!
相關分類
該廠商其他產品
*您想獲取產品的資料:
個人信息:
用戶評論
發布評論