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孚光精儀是中國規模型進口光學精密儀器供應商,是全球光電子儀器和基于光子技術精密儀器的規模性進口商和代理商，主營飛秒激光微加工系統,激光器,激光晶體,原子力顯微鏡等
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磁控濺射系統產品參數
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 80萬-100萬 |
| 應用領域 | 能源,電子/電池,綜合 |
磁控濺射系統詳細信息
磁控濺射系統MagSput™是下一代磁控濺射沉積系統，實用性腔,可擴展性高,且高度可靠,非常適合磁控濺射鍍膜科學研究。
磁控濺射系統可定制。該腔室可設計為接受額外的蒸發源，未使用的端口用法蘭封閉，以便將來添加。
磁控濺射系統附加設備可以包括磁控管槍、熱阻源或電子束蒸發。
磁控濺射系統MagSput™是專為研發和原型生產而設計的柔性平面磁控濺射系統。該系統可用于開發各種應用的沉積工藝，包括多層光學涂層、傳感器設備、太陽能電池、燃料電池、薄膜研究、超導體研究、ASIC、MEMs、磁性設備和生物醫學研究。
柔性平面磁控濺射
磁控濺射系統MagSput™易于重新配置，適用于需要不同系列沉積材料的應用。該系統處理直徑達12英寸的晶片，并容納奇數尺寸的基板。此外，由于多槍能力，可以進行共濺射、不破壞真空的順序濺射和反應濺射（使用活性氣體混合物）。帶有特殊安裝的獨立火炮可進行角度調整。
磁控濺射系統MagSput™采用基于Labview™的軟件,帶來了*****、用戶友*的計算機控制™ ,該軟件的自動過程控制確保了*有效的沉積以及操作的簡便性。手動選項可輕松啟動和故障排除。
磁控濺射系統規格參數
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動快門的前門上的4“直徑觀察口
具有各種靶尺寸的單/多磁控管槍組件
所有光源的手動快門組件
直流/射頻濺射沉積
匹配雙級旋轉葉片泵的渦輪分子真空泵系統
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數字讀數的質量流量控制器
帶顯示和讀數的全量程真空計
容易的目標安裝
半自動控制系統
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編號：91310115MA1K3L3E4N
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移動站：磁控濺射系統
內容聲明：
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