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Lintec通過自主研發(fā)技術(shù)提供一系列氣體、液體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，以及其他定制產(chǎn)品。Lintec的產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、FPD、PV以及其他精密測量行業(yè)。
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LINTEC琳得科 加熱器產(chǎn)品參數(shù)
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
LINTEC琳得科 加熱器詳細(xì)信息
LINTEC琳得科 加熱器 HX-0051H
LINTEC琳得科 加熱器 HX-0051H
加熱器是將電能、燃?xì)饽芑蚱渌茉崔D(zhuǎn)化為熱能的裝置，廣泛應(yīng)用于工業(yè)制造、家用電器、醫(yī)療設(shè)備等領(lǐng)域。現(xiàn)代加熱器采用智能溫控和高效熱傳導(dǎo)技術(shù)，熱效率可達(dá)95%以上，是能源轉(zhuǎn)換的核心設(shè)備之一。
液化氣體通常用于ALD(原子層沉積)和CVD(化學(xué)氣相沉積)等真空沉積工藝，但用室溫氣體吹掃會(huì)發(fā)生冷卻、冷凝的現(xiàn)象，從而使吹掃效果大打折扣。熱吹掃則有效解決了這一問題。小型氣體加熱器HX-0020系列的的空間面積與MFC所差無幾，且最高加熱溫度為200℃，可對(duì)使用端(POU)附近的氣體進(jìn)行加熱，因此成為了ALD和CVD等真空沉積設(shè)備熱吹掃工藝的理想選擇。
產(chǎn)品特點(diǎn)
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
緊湊型模塊化設(shè)計(jì)，節(jié)省安裝空間
多層防護(hù)結(jié)構(gòu)（IP65防護(hù)等級(jí)）
耐腐蝕外殼（不銹鋼/陶瓷涂層）
加熱技術(shù)
電阻加熱：最高工作溫度1200℃
電磁感應(yīng)加熱：升溫速率50℃/s
紅外加熱：波長2-10μm可調(diào)
| 流量(N2換算) | 壓力損失(N2) | 耐壓(G) | 使用溫度 | 接觸氣體部位材質(zhì) | |
| 規(guī)格 | 20SLM | 40kPa | 1MPa | 300℃ | SUS316L不銹鋼 |
四、應(yīng)用領(lǐng)域
工業(yè)制造
注塑機(jī)加熱（±1℃溫控）
半導(dǎo)體擴(kuò)散爐（1500℃恒溫）
食品烘干線（濕度聯(lián)動(dòng)控制）
民用領(lǐng)域
即熱式熱水器（3秒出熱水）
智能電地暖（分區(qū)控溫）
廚房電器（無明火加熱）
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