美國Entegris  在線氣體過濾器  鄭州

美國Entegris  在線氣體過濾器  鄭州

Wafergard® II SF Micro XL 在線氣體過濾器，Wafergard II SF Micro XL 在線氣體過濾器是全不銹鋼結構的高純度氣體系統的過濾器。®

最進的外殼組件通過最大限度地減少焊接面積來消除脫氣

全金屬結構是高溫和動態壓力應用的理想選擇

緊湊的尺寸和靈活的接頭選擇提供了高的設計效率，并最大限度地降低了工程成本

Wafergard® II SF Micro XL 在線氣體過濾器應用超高純氣體管線

高溫應用 新晶圓廠建設 動態壓力應用 惰性和反應性氣體

產品規格材料 濾芯 不銹鋼膜過濾器  住房 電解拋光VAR316L不銹鋼 

下游清潔度 粒子 <0.03 個顆粒/升（<1 個顆粒/英尺3） >0.01 微米 

 揮發 物 <10 ppb 水分  去除等級 ≥0.0015 微米 

內飾表面光潔度 ≤5.00 μin Ra  氦氣泄漏等級 合格 2 x 10-10 大氣壓 CC/秒 

 測試 1 x 10-9大氣壓 CC/秒     最大工作條件 最大入口壓力： 20 MPa （200 barg;2900 psig） @ 20°C （68°F） 

 最大正向/反向壓差： 1 MPa （10 bar;150 psid） 

 最高工作溫度： 460°C （860°F） @ 35 巴 （500 psi）   保證 2 年 

顆粒截留 大于 99.9999999% （9 LRV） 去除所有顆粒  流量等級 請參閱性能數據