▍產品簡介

藝微勝 HPT-L7高精密烤膠機面向半導體、微納制造、光電等領域的研發與中試需求，采用陽極氧化鋁加熱面板，具備出色的耐腐蝕性與熱均勻性。集成多段控溫、觸控操作、無接觸式熱處理等功能，支持對多規格晶圓的熱處理，尤其適用于高潔凈、高穩定性的涂膠前后工藝場景。

▍技術特點

1、高精度熱控系統：溫控范圍覆蓋室溫至250℃，分辨率0.1℃，溫度均勻性±2%，確保關鍵工藝穩定性。

2、無接觸式烤膠功能：可調頂針高度（0–30mm），滿足對敏感基片的非接觸式熱處理需求。

3、多段程序控制：支持最多12段溫控設定，適應復雜熱處理流程。

4、智能化操作系統：7英寸全彩觸摸屏配合PLC控制，操作直觀，參數實時管理。

5、安全與維護便捷性：內置防過熱保護，支持定時升降取片；鏡面不銹鋼外殼，防塵美觀，易于清潔。

▍技術參數

▍典型應用