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內容聲明：
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產品簡介
柜式超臨界干燥儀產品參數
| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 綜合 |
柜式超臨界干燥儀詳細信息
極境KM-S柜式超臨界干燥清洗儀
柜式超臨界干燥儀一鍵全自動，開啟干燥+清洗一體流程
核心的自動升降釜蓋系統，無縫對接產線機械臂從晶圓入釜到高壓密封，全程無需人工干預，真正融入高速連續的生產節拍
智能工藝控制，確保批次復現
內置智能程序，覆蓋從流體注入、壓力平衡到排氣的全過程一鍵啟動即可靜待結果所有數據均可無縫對接到您的生產執行系統(MES)，實現從晶圓到數據的可追溯性
三重連鎖防護，安全不妥協
柜式超臨界干燥儀配備機械安全閥、電子報警、程序互鎖三重獨立安全系統確保操作人員與實驗室環境的安全
半導體產線級設備基準
全流程無塵組裝生產，不銹鋼殼體及EP級工藝流體管路，*大化提升產線良率
標配產線級0.05um過濾器，確保內外均無污染
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