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div德國LeistungselektronikJENAGmbH簡稱LEj，公司于1991年從CarlZeissJenaGmbH公司脫離出來，在鎮流器和光源領域有著40多年的研究和開發產品的經驗。/divdiv/divdiv受益于我們開發部門的概念方法，該部門根據具體要求設計復雜的機電和光電組件和系統。我們直接在我們的現場制造和測試您的原型。這種快速、敏捷的工作方式已經在我們的客戶身上多次得到證明。
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LEJ深紫外汞氙燈光源產品參數
| 供貨周期 | 一個月 |
LEJ深紫外汞氙燈光源詳細信息
LEJ 100W汞氙燈光源，無熱漂移現象，光路重復精度優于0.1μm
LEJ深紫外照明系統是一款專為晶圓檢測和光掩模分析設計的高穩定性紫外光源設備。該系統采用100W汞氙燈（HgXe lamps）作為光源，集成了點火裝置和鎮流器（ballast），通過低熱漂移技術和穩定的直流電源供應，提供極其穩定的紫外輻射。集成化設計：LEJ深紫外汞氙燈光源的點火器直接集成在燈箱lh-qx-100.60內部，相比外置點火器具有更高的可靠性和更簡潔的系統結構。精確觸發時序：與鎮流器ebqx 100-04配合，確保在最佳時機施加點火電壓，延長LEJ 光纖耦合紫外UV光源使用壽命。多重保護機制：包含過壓保護、短路保護等
LEJ深紫外汞氙燈光源產品特點
-無熱漂移現象
-可重復的機械調節
-燈箱內集成點火裝置
-緊湊型燈箱設計
-安全電路功能
-運行時間計數器
深紫外照明系統：
LEJ深紫外照明系統（Deep UV illumination system）：這是整套設備的核心名稱，采用特殊設計的光學系統，能夠在深紫外波段提供穩定均勻的照明。LEJ深紫外照明系統特別適合微納結構檢測，其穩定性在同類產品中處于前列。深紫外照明系統的光譜特性如圖所示。
圖：無聚光元件的汞氙燈光譜
圖：深紫外照明系統的紫外光譜
燈箱lh-qx-100.60（Lamp house lh-qx-100.60）：這是系統的核心組件之一，集成了光源和反射鏡系統。燈箱lh-qx-100.60采用緊湊設計，尺寸僅為169x126x154mm，重量3.4kg。燈箱lh-qx-100.60具有可調節的燈座和反射鏡，確保光路精確對準。燈箱lh-qx-100.60的安全性能符合EN 61010-1標準。
鎮流器ebqx 100-04（Ballast ebqx 100-04）：這是為100W汞氙燈專門設計的電源控制單元。鎮流器ebqx 100-04采用恒流工作模式，最大輸出功率130W。鎮流器ebqx 100-04具有*的安全保護功能，包括過溫保護等。鎮流器ebqx 100-04的輸入電壓范圍寬達90-264VAC，適應全球各地電網。
汞氙燈（HgXe lamps）：這是系統的光源核心，型號為HAMAMATSU L8029-01或L2422-01。汞氙燈在深紫外波段具有特殊的發射特性，特別適合微細結構檢測。汞氙燈的點火電壓為16.5-20VDC，工作電流5.5±0.3A。汞氙燈通過專用燈座連接，確保穩定可靠的電氣接觸。
環形燕尾槽/法蘭（Ring dovetail/Flange）：這是系統的機械接口部件，用于將燈箱安裝到各種應用設備上。環形燕尾槽/法蘭可根據客戶需求定制，確保與不同設備的兼容性。環形燕尾槽/法蘭的安裝方式靈活，支持多種調整需求。環形燕尾槽/法蘭是系統集成的重要組件。
技術參數表
燈箱 lh-qx-100.60:
安裝方式 | 通過法蘭或環形燕尾槽安裝 燈座帶x,y方向調節功能 |
點火器 | 集成高壓點火器 |
反射鏡 | 帶x,y,z三軸調節的反射鏡 |
收集器 | 帶z軸調節 |
安全性 | 符合EN 61010-1標準 |
設備保護等級 | I |
防護等級 | IP 20(EN 60529) |
安全電路 | 開蓋即斷電 |
環境溫度 | 0°C至+40°C |
尺寸(HxWxD) | 169x126x154mm |
重量 | 3.4 kg |
鎮流器 ebqx 100-04:
功能 | 100W汞氙燈專用 |
適用燈型 | HAMAMATSU L8029-01,L2422-01 |
燈連接器 | M16+PE插座, Schaltbau |
安全性 | 安全電路, 過溫保護 |
輸入參數 | 輸入參數 |
電源電壓 | 90至264 VAC |
電源頻率 | 47至63 Hz |
功耗 | 170 VA |
輸出參數 | 輸出參數 |
工作模式 | 恒流 |
功率 | 最大130W |
輸出電流 | 5.5±0.3A |
開路電壓 | 60±5VDC |
點火電壓 | 16.5至20 VDC |
觸發電壓 | 外部點火器 |
尺寸(WxHxD) | 167x85x222mm |
重量 | 2.0kg |
訂購信息
產品 | 貨號 |
燈箱 lh-qx 100.60 ① | 0000013780 |
鎮流器 ebqx 100-04 ② | 0000008708 |
環形燕尾槽/法蘭 ③ | 根據客戶/應用需求定制 |
收集器適配器 ④ | 根據客戶/應用需求定制 |
燈 HAMAMATSU L8029/L2422 | 0000013812/0000018455 |
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移動站：LEJ深紫外汞氙燈光源
內容聲明：
您訪問的LEJ深紫外汞氙燈光源產品信息，由深圳維爾克斯光電有限公司自行發布提供，產品價格為面議，如您想了解更多關于LEJ深紫外汞氙燈光源型號、參數、用途等信息，歡迎咨詢。
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