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QL 氣路測量控制管線系統是七星流量計開發的氣路輸送系統的解決方案，該QL 氣路測量控制管線系統通過對氣路原理圖的設計、加工和測試，以隔膜閥、調壓閥、壓力傳感器、過濾器、MFC等零部件實現對多種工藝氣體的壓力調節、純度過濾、流量控制等功能。

設備特點

•具備 IC 級復雜氣路盤設計能力：可設計滿足集成電路（IC）領域嚴苛要求的復雜氣路結構，適配 IC 制造中多氣體、高精度的氣路輸送需求，保障精密工藝下的氣路穩定性；

•支持定制化服務：能根據客戶的具體工藝需求（如氣體類型、壓力 / 流量參數、接口規格）調整氣路盤設計，提供個性化解決方案，避免通用產品與實際需求不匹配的問題；

•嫁接 MFC 研發生產經驗：依托七星流量計多年的 MFC 研發與生產技術積累，將 MFC 的精準流量控制技術融入氣路盤設計，提升整體氣路系統的流量控制精度與可靠性；

•高性價比優勢：在保障性能與質量的前提下，通過優化設計與生產流程控制成本，為客戶提供兼具可靠性與經濟性的氣路輸送方案，降低客戶設備投入成本。

產品應用

•真空能力：覆蓋 0.2Pa~1×10??Pa 范圍，可適配不同真空度需求的工藝場景，確保氣路系統能穩定維持目標真空環境；

•漏率（VCR 密封）：小于 1×10??Pa˙m3/s，極低的漏率保障氣路密封性，避免氣體泄漏導致的工藝污染或參數波動；

•管路內表面光潔度：小于 0.2Ra，光滑的內表面減少氣體雜質吸附，降低因管路污染影響氣體純度的風險；

•管路內表面處理：采用 EP（電解拋光）處理，進一步提升管路內表面潔凈度與耐腐蝕性，適配高純度氣體輸送需求；

•IGS 尺寸與接口 / 密封形式：IGS 尺寸為 1.125 英寸，接口采用全金屬密封，密封形式可選 IGS-C 型、VCR 或卡套，適配不同設備的連接需求，同時保障密封可靠性；

顆粒度控制：連續 3 次測試中，0.1μm 以下顆粒數≤3 個，嚴格控制管路內微小顆粒，避免顆粒進入工藝環節影響產品質量（尤其適配半導體、精密電子等領域）。