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日本PURERON高精度陶瓷氣體過濾器

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高過精度

在亞微米LSI制造工藝中，原料氣體以高純度供給至使用點是的。為此，原料氣體的高純度化，配管系統的超潔凈化也是一大亮點。Purelon日本為了滿足這樣的時代要求，開發了在元件部使用陶瓷的全新過濾器。其結果，在始終穩定的狀態下，實現了0.003μm/0.0015μm的高過濾精度。

低壓損失

在保持本公司以往PGF系列高性能的同時，實現了低壓壓損。與傳統的PGF系列相同的外形尺寸下，可處理約兩倍的流量。

中崎目前已獲得NPM脈沖、CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學、SIBATA柴田科學、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌認證。