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日本進口PURERON陶瓷氣體過濾器

日本進口PURERON陶瓷氣體過濾器

高過精度

在亞微米LSI制造工藝中，原料氣體以高純度的狀態供給到使用點是的。為此，原料氣

體的高純度化，配管系統的超清潔化也是一大亮點。Purelon日本為了滿足這樣的時代要求，開發了在元件部使用陶瓷的全新過濾器。其結果，在穩定的狀態下，實現了0.003μm的高過濾精度。

蝕刻或薄膜成形時的高選擇性

為了追求高選擇性，除去水和氧等雜質是極為重要的問題。為了切實地除去這些雜質，在高溫

狀態下烘烤是的。根據這種觀點開發的陶瓷過濾器，可以進行200oC的高溫烘烤。

免維護帶來的成本降低

由于根據顆粒徑的大小可以階段性地減小過量的三層結構，所以幾乎沒有堵塞，而且具有耐久性/耐熱性優異的特征的陶瓷過濾器，與以往的過濾器相比，在使用時沒有麻煩。因此，沒有生產線停機造成的經濟損失，可以長期降低成本。

中崎目前已獲得NPM脈沖、CCS晰寫速、SEN日森、EYE巖崎、USHIO牛尾、NIPPON GEAR日本齒輪、KAKUHUNTER寫真化學、FUNATECH船越龍、HIKARIYA光屋、SERIC索萊克斯、REVOX萊寶克斯、NITTO KOHKI日東工器、ATAGO愛拓、SONIC索尼克、SIGMA西格瑪、SUGIYAMA杉山電機、HAYASHI林時計、ORIHARA折原、YUASA尤安薩、EYELA東京理化、SANKO三高、NEWKON新光、HEIDON新東科學、SIBATA柴田科學、HORIBA堀場、TAKASAGO高沙、MITUTOYO三豐、JIKCO吉高、AND愛安德、ONOSOKKI小野、PISCO碧士克、TOPCON拓普康、NDK電波工業、STANLEY史丹利、HIOS好握速、SATA世達、HAKKO白光、TOHNICHI東日等多家品牌認證。