產品概述

領聚微探頭激光干涉儀是一款自主研發的國產高精度位移測量儀器，專為亞納米級精密計量而設計。源于哈爾濱工業大學超精密光電儀器研究所的技術積累，該產品在分辨率、長期穩定性和環境適應性上，已達到前沿水平，直接對標 attocube、SmarAct 等同類產品。

關鍵性能指標已通過國家計量機構及國防一級計量站等計量機構的嚴苛測試，測量結果可溯源至國家基準。儀器支持單軸至四軸同步測量，光纖探頭設計靈活輕巧、集成便捷，測量速度達至高 2 m/s，可實現亞原子級實時位移捕捉。

相較進口儀器，領聚產品不僅性能相當，更具備顯著的性價比優勢、本土化快速響應以及可靠的供應鏈安全保障，廣泛應用于半導體、計量校準、科研、超精密裝備集成等領域。

關鍵特點及規格

• 探頭尺寸：最小可達Φ3.4mm×20mm

• 超高精度：0.1nm測量分辨率

• 測量速度：至高2m/s

• 測量范圍：0-3 m

光纖微探頭系列

該系列產品有多款尺寸mm級緊湊探頭，包括匯聚式、準直式、超長距離式等選擇，支持OEM靈活定制，提供高真空等兼容場景版本。

微探頭產品系列矩陣

該儀器具有多個版本供用戶選擇，包括觸發-單軸型，聯動多軸（典型四軸）和獨立多軸（典型三軸），可以通過多種形式的組合來滿足不同的應用需求，比如多個單軸的組合。

應用領域

超精密裝備集成：高精密位移臺位置反饋、精密機床位置反饋等。

計量校準：精密運動系統與CMM精度驗收、 微納傳感器標定等。

工業制造：直線電機與精密模組反饋、半導體設備運動平臺精度驗證與調校、光學組件調試裝配、機床精度補償與出廠標定等。

前沿科學與科研高校：微納器件研發校準/光路調試等。