EBARA大流量廢氣處理設備G5-600-P1~P6

EBARA大流量廢氣處理設備G5-600-P1~P6

G5型得益于荏原獨特的廢氣處理技術，有著處理性能優秀、安全性高和使用壽命長等優點。分為最大氣體流量 600L/min和1200L/min兩種類型。適用于半導體制造過程中如TEOS等含有Si源的可燃氣體的大流量廢氣處理.

特點

比普通G5型更高的流量規格;

進氣口從4個增加到6個;

標配副產物清除功能(燃燒器部分)，可用性更高;

標配自動除粉功能(儲氣罐部分)，大幅延長維護周期;根據處理氣體的類型和量按需運行(能耗自動變化)，可降低運行成本。

型

一、型號含義

• G5：系列代號（燃燒 + 濕式處理）

• 600：最大進氣量 600 L/min

• A1~A6：標準配置細分（A 系列為非防爆）

• P1~P6：同規格防爆 / 特殊配置版本

  
  

• A1~A6 配置差異

• A1：基礎標準型（城市煤氣）

• A2：基礎標準型（丙烷氣）

• A3：增強耐腐型（特殊材質，適配強酸性廢氣）

• A4：高配型（自動清洗 + 遠程監控）

• A5：超大流量優化型（600 L/min 滿負荷穩定運行）

  A6：定制集成型（含預處理 / 后處理模塊）

  典型應用場景

• 半導體蝕刻、CVD、擴散工藝集中排氣

• 液晶 / OLED 面板制程大流量廢氣

• 太陽能電池、LED 生產 PFCs 與酸性氣體處理

• 多機臺共用的中央廢氣處理系統