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產品簡介
CL4514型氧化擴散設備是各大院校、科研機構、實驗室中的典型熱處理設備,用于微電子系集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等學科中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝的教學和試驗工作。
CL4514型氧化擴散設備主要技術指標:
• 爐管數:1~4管
• 配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)
• 恒溫區長度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) ;760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
• 單點穩定性:±1.0℃/24h (300~800℃) ;±0.5℃/24h (800~1280℃)
• 懸臂舟參數:
速度:20~1000 mm/min
行程:2000 mm
定位精度:±1 mm
載荷:17 Kg
• 氣源路數:≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器
• 氣體控制:浮子/質量流量計
• 超凈工作臺:
凈化等級:100級(萬級廠房)
• 噪音:≤62dB(A)
• 振動:≤3μm
• 報警及保護:超溫、斷偶、缺水及真空異常系統自動報警及保護
• 控制系統:整機控制系統采用工業控制計算機(WINDOWS 系統,中文操作界面,方便簡潔)
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移動站:CL4514型氧化擴散設備
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