Excel Precision  雙頻氦氖激光干涉儀器 Excel Precision  雙頻氦氖激光干涉儀器

1. 產品定位與核心價值

2. 核心技術與產品特點

?? 塞曼效應雙頻技術，超高穩定性

• 塞曼效應原理：通過在激光管施加縱向磁場，使氖原子能級分裂為兩個頻率對稱分布的能級，實現雙頻振蕩，頻率差與磁場強度成正比，激光頻率穩定性，測量精度與重復性行業。

• 納米級分辨率：最小讀取分辨率達 0.3 納米，可滿足半導體、精密加工等領域的超高精度位移測量需求。

? 高速測量與多軸同步

• 高速測量能力：憑借高分頻頻率，測量速度可達 1.0m/s（取決于分辨率），適配高速運動平臺的實時測量需求。

• 多軸擴展支持：單臺激光頭可支持最多 6 軸同步測量（搭配 6 個干涉儀、6 個接收器），大幅降低多軸設備的系統成本。

?? 全場景兼容與定制化

• 系統兼容性：與所有 Excel 光學產品兼容，可無縫接入客戶現有測量系統，無需額外改造。

• 定制化服務：支持根據客戶需求定制系統配置，適配不同行業的特殊應用場景。

?? 工業級可靠性

• 全球裝機量超 5000 臺，經過數十年市場驗證，性能穩定可靠，可在工業現場長期穩定運行。

3. 核心應用場景

• 半導體行業：晶圓 / FPD 步進機、電子束設備、IC 檢測設備的位移測量與定位；

• 精密加工行業：精密測量機、超精密加工機床的精度校準與位移控制；

• 光學檢測領域：光學干涉儀、光學硬件的研發與檢測；

• 其他領域：需要超高精度位移測量的科研與工業場景。

4. 產品亮點

• 美國 Excel Precision 原廠技術：位移測量領域的級設備，全球裝機量超 5000 臺；

• 塞曼效應雙頻技術：超高頻率穩定性，測量精度與重復性行業；

• 納米級分辨率：0.3 納米最小讀取分辨率，滿足半導體、精密加工的超高精度需求；

• 高速多軸測量：1.0m/s 測量速度，支持最多 6 軸同步測量，系統集成成本低；

• 全場景兼容與定制化：與 Excel 光學產品無縫兼容，支持客戶定制化系統配置。