空冷式羅茨型干泵ULVAC/日本愛發科

空冷式羅茨型干泵ULVAC/日本愛發科

*1：到達壓力時

*2：At ultimate pressure (reference only)

*3：Purge gas使用時的水蒸氣處理量

*4：Including a silencer

真空泵是一種從密封空間排出氣體以產生低于大氣壓的壓力的機器。真空泵有多種類型，具體取決于抽氣機構和抽氣速度。有必要根據目的和用途正確使用它們。

1×105Pa～1×102Pa的范圍稱為低真空，1×101Pa～1×10-1Pa的范圍稱為中真空。"Model:MS"是螺桿型干式真空泵。在傳統的"Model:LS"的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。

特點

通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

采用ULVAC設計的轉子軸，高性能的排粉。

從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

用途

半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。