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一、臺式 掃描電鏡功能與特點

1） 微觀形貌觀測：標配二次電子探頭和背散射電子探頭，可獲取樣件表面的高分辨率形貌圖像，針對不導電樣件，可配置低真空模式或鍍金進行掃描；

2） 元素成分分析：搭配EDS能譜儀，可實現樣件元素成分分析；

3） 快速抽真空系統：獨特的真空系統設計，可進行快速抽放氣，極大縮短了用戶抽放氣的等待時間，提高使用效率；

4） 自動調節功能：儀器具有高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，使用自動調節功能，可直接得到高質量拍攝圖片；

5） 大樣品倉設計：在保證較小外型尺寸同時，具有*立式電鏡的大倉室，可容納更大尺寸樣品；

6） 高抗振防磁性能：儀器具有優秀的抗干擾能力，基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度；

7） 導航功能：標配高分辨率彩色相機和紅外相機，可實時觀察樣品位置，進行位置調節測量；

8） 高分辨率、高襯度成像：具有出色的電子光學系統，系統具備高信噪比，以及優于4nm的空間分辨率，保證了高放大倍數下的清晰成像，能夠滿足納米尺度的形貌觀測需求；

9） 操作便捷性：采用集成式操縱手柄，可快速調節各坐標軸位置來觀測樣品不同區域。

二、臺式 掃描電鏡應用領域