一、在線自動化晶圓缺陷光學檢測設備KN-X5000系列是專為光學檢測集成設備打造的解決方案。該系統深度融合了高性能相機模塊。超精密物鏡以及可拆換組合光源,并配備了高度開放且用戶導向的圖形化編程平臺,確保系統的靈活性與可擴展性。系統提供深度合成與深度學習擴展模塊,從而為在線顯微領域引入了前所的未有的視覺手段,極大的拓寬了檢測與分析的維度。
二、在線自動化晶圓缺陷光學檢測設備KN-X5000的功能:
1、微米級精度的:缺陷檢測、AI缺陷檢測、尺寸測量、OCR識別;
2、區別于結構光相機、線激光傳感器、線光譜共焦傳感器、白光干涉模組,基于深度合成技術獲取3D與色彩信息;
3、具備圖形化編程界面,支持拖拽算子以自定義檢測方案;
4、支持調用API以進行二次開發。
三、優勢:
1、結構緊湊:小型化設計,易于安裝部署
2、顯微強勁:亞微米級顯微,全域顯示微觀形貌特征
3、配置靈活:多通道,多級自動變倍,可視化編程,應對不同使用場景
4、接口開放:開放的接口,適用于集成產線的自動2D/3D測量,缺陷檢測
四、應用方向:
KN-X5000廣泛應用于半導體、3C電子、汽車、新能源、新材料、醫療制藥等領域。
在半導體制造中,可用于晶圓表面微觀形貌觀察、芯片制造缺陷自動檢測;
在汽車行業,能夠對精密零部件的尺寸進行精確測量;
在新能源領域,可檢測電池材料的微觀結構與表面缺陷;
在新材料研發中,幫助科研人員分析材料的微觀特性;在醫療制藥方面,用于醫療器械的精密檢測與藥品質量的把控。
五、豐富的拓展模塊:
1、高精度3D檢測模塊:
具備<10um顯微級測量能力,采用一體化電動設計,無需編碼器即可快速完成精密工件的3D尺寸測量。
2、AI深度學習檢測模塊:
運用AI深度學習技術,可精準識別各類復雜缺陷,并能通過少量樣本快速適配多樣化的產品檢測需求。
3、可視化流程搭建模塊:
提供圖形化界面,通過拖拽式操作無需編程即可快速構建、部署與執行完整的圖像自動化檢測流程,
4、開放式API擴展模塊:
提供開放API接口,支持靈活調用測量與檢測功能,輕松集成至產線系統,實現定制化與自動化擴展。
六、廠家與售后服務
地區: 全國多地有分支機構與服務商
服務:免費樣機演示、上門安裝培訓、定制方案;快速售后響應,支持軟件終身升級與硬件延保;
懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。






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