日本 JTEKT高溫潔凈烘箱半導體晶圓烘烤爐

一、產品概述

CLH-21CD 是日本 JTEKT Thermo Systems（原 KOYO Thermo）推出的高溫潔凈烘箱，專為半導體、光電、精密零部件等高潔凈熱處理場景設計。它通過耐熱 HEPA 過濾器和強制熱風循環系統，在高溫環境下維持 Class 100（ISO 5）潔凈度，可完成晶圓 / 玻璃基板烘烤、聚酰亞胺固化、退火等工藝，是潔凈制程的核心設備。

二、核心產品優勢

Class 100 高潔凈度，杜絕顆粒污染

搭載耐熱高性能 HEPA 過濾器，溫度穩定時爐內可維持 **Class 100（ISO 5）** 潔凈度，有效過濾外界顆粒，滿足半導體、精密部件的高潔凈熱處理要求。

寬溫域均勻控溫，適配多工藝需求

最高工作溫度可達 450~530℃（依型號配置不同），采用強制熱風循環系統，爐內溫度均勻性優異，可穩定完成烘烤、固化、退火等多種熱處理工藝。

氮氣氛圍可選，降低氧化風險

支持通入氮氣（N?）實現低氧環境處理，爐內殘氧濃度可控制在 20ppm 以下，減少工件高溫氧化，適配易氧化材料的熱處理需求。

安全可靠，適配工業級連續運行

配備多重安全防護機制（超溫保護、過壓保護等），支持可編程多段控溫，可實現無人值守運行，適配產線連續生產節奏。

緊湊型潔凈室友好設計

整機結構緊湊，適配標準潔凈室布局，安裝調試便捷，無需復雜改造即可投入使用。

三、日本 JTEKT高溫潔凈烘箱半導體晶圓烘烤爐典型應用場景

半導體 / 晶圓制程：晶圓 / 玻璃基板的高溫烘烤、光刻膠固化、聚酰亞胺固化、退火工藝。

光電 / 顯示行業：LCD/OLED 面板的玻璃基板熱處理、薄膜固化、老化測試。

精密零部件制造：電子元件、陶瓷零件的潔凈退火、去應力處理，避免氧化與顆粒污染。

材料研發與實驗：高校、科研院所的高潔凈環境材料熱處理實驗，支持氮氣氛圍低氧工藝。