百級潔凈烘箱 BXDH-180F  

    用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

百級潔凈烘箱 BXDH-180F  

一．主要技術指標

1.1、溫度范圍： 室溫＋30℃～200℃；升溫速率：3-6℃/min

1.2、溫度波動度：±0.5℃；

1.3、溫度均勻度：100℃±2℃、200 ℃±4℃、250℃±5℃，（空載恒溫20min后檢測）；

1.4、工作室尺寸（單腔）：600（寬）*500（深）*600（高）mm；

1.5 、采用日本”富士”溫度控制器，控制器液晶顯示及設定、PID 自動演算、薄膜設定，精確度±0.3%FS；

1.6、潔凈度（class）：100

1.7、功率：12.0KW

1.8、電源：380V/50Hz

二、 氣流控制方式：

2.1、強制循環通風，控制系統根據設定之溫度點通過PID自動運算輸出的結果去控制加熱器的輸出量，最終達到平衡

2.2、氣流循環裝置：內置空調間、循環風道及通風電機；

2.3、加熱方式：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發生器。

2.4、隔板要求：每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成，隔板四邊與箱體緊密接觸。

三、箱體結構

3.1、箱體外壁材料：外箱采用優質冷軋板噴塑，耐腐蝕，美觀大方；

3.2、箱體內壁材料：采用優質不銹鋼板全周氬弧焊，并經堿性蘇打水清潔，有效防止機臺本身灰塵的產生；

3.3、保溫材料：采用特細超白玻璃纖維120K級高密度保溫棉填充，有效地防止了熱能浪費。

3.4、箱體為整體組合結構，頂部為電器控制柜，內裝的電器控制系統，下部為腔體。電控柜外圍的溫度≦50度，可避免人員燙傷。

3.5、裝有氮氣接口，能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行；(氮氣流量計需安裝在箱體的正面，進氣口安裝在箱體的后部，安裝8mm管徑的進氣口。）

3.6、箱體內裝有高效過濾器，有效過濾99.99％0.3um以上顆粒，達到更好潔凈效果。

四、測控系統：

4.1、控制面板：面板上功能標識齊全，設備的運行分別用“啟動”“停止”來控制，各種狀態指示齊全，有恒定運行指示、程序運行指示、加熱指示、定時結束指示、超溫指示

4.2、控制器要求：采用富士溫度控制器，根據工藝要求可設置恒定溫度運行，及多段程序編輯。

4.3、運行方式：程序運行、恒定運行（設備上默認程序運行）；

     恒定運行時：設備裝有電磁鎖，設備運行時電磁鎖動作將門鎖住； 程序結束后，方可打開箱門。

 4.4、采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時自動切斷加熱電源并進行聲光報警、超溫保護控制儀采用LED顯示控制器

 4.5、電控柜超溫保護及緊急開關。

4.6、降溫方式：自然降溫。

五、設備具有的 安全保護措施：

 5.1、安全可靠的接地；

 5.2、工作室超溫保護；   

 5.3、加熱器短路保護；

六、設備的運輸與現場安裝

6.1、安裝設備：液壓叉車或吊車1臺.

6.2、設備卸裝/就位：設備運到客戶現場后由客戶檢驗設備有無損傷，若無損傷，客戶負責設備的卸裝到客戶指定的位置.

6.3、安裝前準備：設備安裝前，客戶需要提前做好相關準備，具體參數見（設備正常運行條件）

6.4、現場施工：由客戶負責：在設備使用現場的設備就位，包括設備卸裝，設備外接電線的布線至設備總開關處，廠房的抽風系統（含風罩等）。

七、 產品執行標準：JB/T5520-91干燥箱技術條件

八、 配備技術資料： 技術資料：產品合格證、使用說明書、儀表使用說明書等