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ULVAC 干式螺桿真空泵 耐腐蝕耐粉塵ULVAC 干式螺桿真空泵 耐腐蝕耐粉塵ULVAC 愛發科作為全球真空技術領域的企業，旗下 MS 系列干式螺桿真空泵，是專為嚴苛工業工藝優化的耐腐蝕性、高排粉型干式泵，繼承并升級了傳統 LS 系列的成熟技術，可適配含腐蝕性氣體、粉塵顆粒的真空排氣場景，為半導體制造、鋰電生產、真空熱處理等行業提供可靠的真空解決方案。

在耐腐蝕性方面，MS 系列對轉子軸、氣缸等核心部件進行了特殊表面處理，大幅提升了對酸性、堿性等腐蝕性氣體的耐受能力，減少部件腐蝕磨損，延長設備使用壽命，適配蝕刻設備、等離子清洗設備等半導體工藝中含腐蝕性氣體的排氣需求。針對鋰電行業電極干燥、脫泡等工序中產生的粉塵顆粒，設備采用 ULVAC 的螺桿式轉子軸設計，實現了優異的排粉性能，有效防止粉塵堆積堵塞，降低設備故障風險，減少維護頻次，保障生產線連續穩定運行。

設備支持從大氣壓到極限壓力的全壓力范圍連續運行，無需分區啟?；蝾l繁切換工況，可適應工藝過程中壓力波動的場景，提升生產效率。系列包含 MS120A、MS600A、MS1200A 三個型號，最大排氣速度分別達 115m3/h、560m3/h、980m3/h，可根據工藝規模靈活選擇；極限壓力低至≤0.1Pa，滿足不同工藝的真空度要求，如真空熱處理爐、滲碳爐的真空排氣系統，以及醫療、食品行業的冷凍干燥、真空干燥裝置等場景。

設備采用三相電源供電，適配 AC200-240V 或 AC380-480V 電壓，可根據現場供電條件選擇；運行噪音低至 61-64 分貝，對生產環境干擾??；配備 KF50/ISO-F-80/ISO-F-100 等標準進氣口法蘭，便于與不同真空腔體對接；同時支持吹掃氣體量調節（0~50 標準升 / 分鐘），可根據工藝需求調整吹掃參數，進一步優化排粉與防腐蝕效果。MS1200A 型號還提供配備額外控制主板及傳感器的版本，可實現更精細化的運行監控與數據采集，適配自動化產線的集成需求。

憑借扎實的結構設計、優異的耐腐與排粉性能，ULVAC MS 系列干式螺桿真空泵成為腐蝕性、含粉塵真空工藝的優選設備，為半導體、鋰電、熱處理、食品醫療等行業提供穩定可靠的真空排氣保障。