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產品特點

智能控制與人性化操作

u 配備7英寸彩色觸摸屏，支持中英文雙語界面，交互直觀。

u 內置PLC工控系統，支持手動/自動兩種工作模式，全過程自動化控制。

u 具備20組可存儲的工藝配方，支持工藝數據存儲、輸出與全程追溯，實現智能化生產管理。

精密工藝與氣體控制系統

u 智能真空雙控制模式：系統可通過調節氣體流量或腔體壓力兩種模式精準控制真空壓力，工藝調控靈活智能。

u 精準氣體配送：采用質量流量計，氣體控制精度高。標配雙路氣體系統，可選配多路氣路，支持氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣等多種工藝氣體。

u 均勻進氣設計：采用多孔道進氣方式，有效改善傳統單孔進氣不均的問題，確保處理效果均勻一致。

u 潔凈保障：配備HEPA高效過濾器，結合氣體返填吹掃功能，有效防止二次污染。

可靠結構與廣泛適應性

u 真空腔室及全管路系統均采用316不銹鋼材質，潔凈耐腐蝕，確保工藝純凈度。

u 結構設計緊湊合理，占地面積小，節省空間。

u 可處理各種材質、形狀與尺寸的樣品，適用性廣。

u 樣品處理全程低溫，避免熱損傷與熱氧化現象。

穩定高效與經濟節能

u 處理效率高，工藝重復性與一致性好，保障量產穩定性。

u 整機運行穩定，使用成本低，維護簡便，損耗小。

周全的安全防護

u 配備多重安全機制：艙門開啟即自動斷電，并具備可控泄壓等功能。

u 設有運行/停止狀態提示，保障人員操作與樣品安全。