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日本EBARA荏原最早創立于1912年，正式成立于1920年，總部位于日本東京，是一家擁有百年歷史的日本企業。主要產品品種有泵、制冷機、冷卻塔、風機、渦輪機、垃圾焚燒設施、真空泵、CMP設備、廢棄處理設備、電鍍設備等。
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EBARA/荏原 華南代理 燃燒式廢氣處理設備產品參數
| 價格區間 | 10萬-30萬 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
EBARA/荏原 華南代理 燃燒式廢氣處理設備詳細信息
EBARA/荏原 華南代理 燃燒式廢氣處理設備EBARA/荏原 華南代理 燃燒式廢氣處理設備
G6?E 是日本荏原 EBARA 專為半導體外延 Epi 工藝定制的大流量燃燒 + 濕式一體化尾氣處理設備，主打大流量氫氣 + 氯氣同時處理 **，是 G5 系列升級款，適配 SiC、硅片外延等高氫、高氯嚴苛工況，和 G?WS1000、G5、TND 為同系列完整產品線。
一、核心規格參數
處理方式：燃燒 + 濕式洗滌一體化
最大總進氣量：400 L/min
最大氫氣處理量：200 L/min（行業同體積機型優先）
型號區分：
G6?E A1~A4：燃料為城市天然氣
G6?E P1~P4：燃料為丙烷氣
外形尺寸：1200×650×1900 mm，立式緊湊型機柜
供電：三相 AC200V，適配晶圓廠 Sub?Fab 供電
安全認證：SEMI?S2、CE、NRTL，滿足半導體嚴苛規范
二、核心技術亮點（外延工藝專屬優勢）
大流量氫氣專用燃燒器
專屬高熱負荷燃燒結構，可穩定處理200L/min 超大流量氫氣，同時兼容氯氣，解決外延設備氫氯混合廢氣處理痛點，無回火、爆燃風險。
標配自動副產物清除系統
搭載燃燒器刮刀 + 水箱自動除渣，針對外延工藝產生的DCS、硅粉、氯化物結晶自動清理，維護周期大幅延長，適配高粉塵、高腐蝕工況。
PFCs 高效分解 + 多氣體集中處理
難分解溫室氣體（NF?、CF?、SF?）分解效率＞95%；支持多路廢氣同時接入，可集中處理外延、CVD、刻蝕多工藝尾氣。
On?Demand 按需節能運行
根據廢氣流量、氫氣濃度自動調節燃料供給，低負載時降低能耗，運行成本較傳統機型降低 30%+。
強防腐結構，適配高氯 / 酸性氣體
整機耐 HCl、Cl?、HBr、HF 強腐蝕，后端水幕洗滌吸收酸性副產物，尾氣達標排放。
三、可處理廢氣（外延全品類覆蓋）
外延核心氣體：H?、Cl?、SiH?Cl?(DCS)、SiH?、NH?
可燃劇毒氣體：PH?、AsH?、GeH?、B?H?
刻蝕 / 清洗氣體：NF?、ClF?、HBr、BCl?、SiCl?、HF、HCl
PFCs 溫室氣體：CF?、SF?、C?F?、C?F?、CHF?
四、與 G5、TND、G?WS1000 選型對比
G?WS1000：純濕式水洗，僅處理水溶性氣體，無燃燒
G5 型：通用燃燒款，中小流量主流標配，氫氣處理能力一般
G6?E 型：外延專用款，大流量氫氣 + 氯氣同時處理，SiC 產線優選
TND 型：燃燒款，前置水洗，適配超高粉塵、高負載工況
五、典型應用場景
半導體硅片外延、SiC/GaN 第三代半導體外延生長、MOCVD、面板、光伏、LED 產線，適配外延、刻蝕、CVD、清洗工序尾氣治理。
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