日本進口Otsuka大塚膜厚儀在線評估測試系統

本公司的MCPD series在線膠卷評價系統，由于光學式非接觸·非破壞的膜厚，濃度，顏色等的檢查可能。可測定膜厚范圍為65nm～92μm和薄膜到厚膜都對應。（折射率1.5時）測量原理為分光干涉方式，在實現高測量再現性的同時，還支持多層厚度測量。由于采用了獨自算法，可以高速實時監控，所以作為在線膠片監控，我們提出了適合的系統。...

特　點

● 適合工藝過程中的薄膜高速測量

● 最短曝光時間1ms～※根據規格

● 支持遠程測量

● 膜厚測量范圍65nm～92μm（換算為SiO2）

日本進口Otsuka大塚膜厚儀在線評估測試系統

基本配置

多點測量點切換對應系統：

在多點測量點切換對應系統中，通過在TD方向預先設置任意寬度的多分支光纖，可以在不驅動光纖的情況下測量TD方向的膜厚分布。可以作為涂層的條件和實時監視器使用。

檢測器和數據處理系統為1式，通過光纖的光路切換可以進行多點測定。

橫動單元對應系統

在橫動單元對應系統中，通過在TD方向上驅動橫動單元，可以以任意寬度和任意間距測量TD方向的膜厚分布。

可以作為涂層條件提出和實時監控使用。 由于通過排線單元的驅動進行多點測量，因此無需準備多臺檢測器和數據處理。

即使在真空環境下也可以在多點進行反射、透射光譜測定

通過使用各種法蘭對應的耐真空纖維，可以在高真空下測量反射、透射光譜。

另外，膜厚運算不易受到基膜的上下移動的影響，并且采用精度良好的薄膜測量大冢電子獨自的算法，可以作為實時監視器使用。